湖北日報訊 （記者張真真、通訊員張雋瑋）8月22日，武漢東湖高新區與國內領先的電子氣體公司湖北和遠氣體股份有限公司（以下簡稱“和遠氣體”）簽署協議，和遠氣體將在位于光谷的東湖綜保區建設電子氣體中心及全球總部。
在芯片制造過程中，不僅需要光刻機、蝕刻機、硅片等核心設備或材料，還需要電子氣體。電子氣體是芯片制造上游原料之一，參與蝕刻、清洗、外延生長、離子注入等各個環節。電子氣體有上百種，其化學性質極其穩定，純度要求在99.999%及以上，能夠保證芯片在制造過程中的穩定性和可靠性，被稱為芯片制造的“血液”，是芯片制造中成本僅次于硅片的第二大耗材。隨著我國集成電路產業規模持續擴大，電子氣體市場進入快速發展期。目前，我國電子氣體市場規模已占全球六成以上。
據介紹，和遠氣體是國內領先的高純電子氣體生產商，具備同時為12英寸先進工藝產線提供電子氣體和電子特氣能力。東湖高新區是全國四大集成電路產業基地之一，目前規劃建設的先進工藝半導體項目已超10個，達產后年用氣經濟規模將達30億元。
本次合作覆蓋股權投資、供應鏈搭建、全球總部項目等，主要建設電子大宗氣體投資公司、國內首個電子特氣供應鏈平臺、集團運營管理總部、研究中心等。這一重要項目落地，將進一步補齊光谷集成電路產業上游材料關鍵環節，完善光谷集成電路產業鏈。
